大理石氣浮導(dǎo)軌
大理石氣浮導(dǎo)軌對材料的要求
大理石氣浮導(dǎo)軌的制作采用了是空氣靜壓，軸承技術(shù),因此它具有軸/徑向跳動小、重復(fù)定位精度高、加載驅(qū)動力小、能在高轉(zhuǎn)速下平穩(wěn)工作等 性.為了保證氣浮導(dǎo)軌具備這些性能,在選用制作材料時要求它具有以下 征:
1.導(dǎo)熱性要好,隨時間及空間改變,溫度隨之改變進而造成構(gòu)件內(nèi)部的溫度梯度,引起機器結(jié)構(gòu)的扭轉(zhuǎn)和彎曲;
2.熱膨脹系數(shù)要小,避免在溫度-變化下產(chǎn)生過大的伸長縮短;
3.要具有比較大的彈性,避免花崗石氣浮導(dǎo)軌在受力后出現(xiàn)較大的變形;
4.要有著較高的硬度,保證在加工及使用中都不會輕易劃傷、磨損;
5.具有較高的強度,在力量范圍內(nèi)不易斷裂;
6.對于運動部分的材料,在密度上要小,保證由于測量機的高速、高加速運動而產(chǎn)生的測量機慣性力不會造成損傷;
7.考慮材料吸水率小,以免受潮變形(質(zhì)量差的花崗石,由于吸水,足以引起微米級的變形);
8.工藝性好,易于加工,成本要低.
作為超精密測量、超精密加工和半導(dǎo)體光刻等領(lǐng)域的重要應(yīng)用,花崗石氣浮導(dǎo)軌的材料具備上述性能才能在使用中正常發(fā)揮作用.
大理石氣浮導(dǎo)軌的使用要求
當(dāng)運動件沿著承導(dǎo)件作直線運動時,承導(dǎo)件上的花崗石氣浮導(dǎo)軌起支承和導(dǎo)向的作用.為了保證花崗石導(dǎo)軌作用的實現(xiàn),在設(shè)計的時候要完成這些相應(yīng)的要求:
1.導(dǎo)向精度.導(dǎo)向精度是指運動件沿花崗石氣浮導(dǎo)軌移動的直線性,以及它與有關(guān)基面間的相互位置的準確性.
2.運動輕便平穩(wěn).工作時,應(yīng)輕便省力,速度均勻,低速時應(yīng)無爬行現(xiàn)象.
3.是易磨損.導(dǎo)軌長期使用后,能保持的使用精度.花崗石氣浮導(dǎo)軌在使用過程中要磨損,但應(yīng)使磨損量小,且磨損后能自動補償或便于調(diào)整.
4.足夠的剛度.運動件所受的外力,是由花崗石氣浮導(dǎo)軌面承受的,故導(dǎo)軌應(yīng)有足夠的接觸剛度.為此,常用加大導(dǎo)軌面寬度,以降低導(dǎo)軌面比壓;設(shè)置輔助導(dǎo)軌,以承受外載.
5.溫度變化影響小.應(yīng)保證花崗石氣浮導(dǎo)軌在工作溫度變化的條件下,仍能正常工作.
6.結(jié)構(gòu)工藝性好.在保證花崗石氣浮導(dǎo)軌其它要求的前提下,應(yīng)使花崗石氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡單,便于加工、測量、裝配和調(diào)整,降低成本.
